ハイウィン、中空径340mmの超薄型DDモーターの受注・販売を開始

　ハイウィンは、超薄型で大中空径を誇るダイレクトドライブ（DD）モーターDMTシリーズに、圧倒的な大中空径340mm、薄さ30mmの「DMTK3」の受注・販売を本年6月から開始している。

　DMTシリーズは、超薄型で低重心、そして大中空径が特徴のモーターで、高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適しているシリーズ。しかし、DMTシリーズを含め市場では、12インチウエハを中空径に通せるDDモーターがなく、従来の12インチウエハ関連の工程ではダイレクトドライブ方式以外の機構や円弧状機構の一部を使用して大きな中空ステージを製作していたものの、粉塵の影響や重量、大きさ、精度、構造などの欠点があった。

　そこでハイウィンでは今回、中空径が340ｍｍに広がった「DMTK3」を開発。12インチウエハを中空径に通すことができ、さらに自由度の高いウエハ検査装置などの設計を可能としている。

　超薄型のコンパクトさと中空径にケーブルやエア配管を通せることにより、装置メーカーにおけるステージの設計や組立工数を圧縮可能で、例えば同社製リニアモーターと組み合わることで、比較的容易に全高250mm程度の高精度XYΘステージを組むことができるなど、装置の省スペース化や低重心化だけでなく、剛性向上にも寄与できる。

　製品の特徴は以下のとおり。

・大中空径340mm、薄さ30mm

・ギヤなし、ゼロバックラッシュ

・高分解能で優れた位置決め精度

・独自の磁気回路設計により高トルク

・当社製高剛性クロスローラーベアリングを内蔵

　主な用途として、12インチウエハ関連工程（ウエハダイシングやウエハ検査など)、マイクロLEDマストランスファー工程など、高精度だけでなく大中空径や薄型・省スペース要件を求めるアプリケーションに適している。