2022年11月号

特集1：半導体製造プロセス

◇半導体製造装置の市場・技術動向とベアリング＆モーション技術・・・日本半導体製造装置協会　小林 章秀 氏に聞く

◇半導体製造における超精密位置決め技術の動向・・・住友重機械工業　吉田 達矢

◇半導体分野における超薄型ボールベアリングの適用・・・木村洋行　北澤 潤 氏、足立 健太 氏に聞く

◇半導体製造プロセスにおける真空シールの適用と新展開・・・フェローテックマテリアルテクノロジーズ　西本 文夫 氏、鷺坂 圭亮 氏に聞く

◇ベリリウム銅合金を用いた低ガス放出チャンバー・超高感度ガス分析技術の半導体製造プロセスにおける適用・・・東京電子　黒岩 雅英 氏に聞く

特集2：産業用ロボット

◇ものづくりにおける自動化ニーズに対応する協働ロボットの進化・・・ユニバーサルロボット　山根 剛氏に聞く

◇機械要素技術を組み合わせた自動化・省力化システムと、自動化導入支援の取組み・・・ハイウィンに聞く

◇産業用ロボット向け減速機のトライボロジー課題に対応するDLCコーティング・・・編集部

連載

注目技術：第33回自律分散式転がり軸受の適用による大容量・高頻度充放電の蓄電が可能なフライホイール蓄電技術・・・空スペース

あるコスモポリタンの区区之心　第9回 ホツマツタエと碩学・・・紺野 大介

Q&A「浄油技術」の基礎知識　第9回 フィルタエレメントの選定方法・・・RMFジャパン テクニカルサポート

トピックス

JIMTOF2022開催、工作機械向けベアリング＆モーション技術が集結
トライボコーティング技術研究会、令和4年度第 2 回研究会を開催

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