VACUUM 2012-真空展

2012年05日10日(木)

　「VACUUM 2012-真空展」は今回で34回目を迎える歴史ある展示会であり、世界で唯一と言ってよい規模を誇る真空機器・真空装置の専門展示会。真空技術は、半導体、FPD、電子分野だけでなく、食品、医療、分析機器や、昨今注目を浴びる新エネルギー分野、環境関連分野など、幅広い産業分野に関わる基盤技術。毎年、広範な産業分野、大学、研究機関から多くの人が真空関連の新技術を探しに来場する「VACUUM 2012-真空展」は、ニーズとシーズの出会いの場であり、新たな産業創生とビジネスチャンスを見出せる場となっている。

主催：日本真空工業会、日本真空協会

テーマ

「真空技術でつくる未来」

開催日

2012年10月17日（水）～10月19日（金）
10:00～17:00

出展製品

■真空ポンプ
低真空～中真空ポンプ（油回転ポンプ、ドライポンプ他）、高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ、クライオポンプ他）、超高真空ポンプ、真空排気装置
■真空計測器
ピラニ真空計、電離真空計、極高真空計、薄膜計測、制御機器
■真空部品・材料
真空バルブ、真空スイッチ、各種導入端子、真空ポンプ油、成膜材料
■真空冶金装置
真空溶解関連、真空熱処理関連、真空接合、真空改質関連
■真空化学装置
真空乾燥、凍結乾燥、蒸留、濃縮、脱泡、脱臭、真空冷却、真空重合関連
■真空薄膜形成加工装置
蒸着、スパッタリング、ドライエッチング、アッシング、イオン注入、ＣＶＤ、エピタキシャル成長
■ガス分析装置
磁場型質量分析計、マスフィルタ型質量分析計、微量ガス分析装置、電子衝撃発光分光装置
■表面分析装置
電子検出型、光電子分光分析装置、オージェ電子分光装置、電子回析装置、その他の表面分析装置、イオン検出型質量分析装置、二次イオン質量分析装置、イオン散乱分析装置、その他のイオン検出型表面分析装置、Ｘ線検出型、Ｘ線回析装置、電子線マイクロアナライザ、その他のＸ線検出型表面分析装置
■試験装置
自動濡れ探し機、スペースチャンバー、真空引張・圧縮試験機、その他試験機
■表面観察装置
走査型トンネル顕微鏡、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡