THK、高加減速対応・低しゅう動のミニチュア直動転がり案内の受注を開始

　THKは、高加減速対応・低しゅう動のミニチュアLM ガイド「AHR」の受注を開始する。

　高加減速対応・低しゅう動のミニチュアLMガイドAHRは、半導体チップの生産能力向上に役立つ高加減速に対応した性能を持つLMガイド。ミニチュアLMガイドの高速・高加減速動作における耐久性と低しゅう動性を兼ね備え、なおかつ既存の2列ゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドとの取付寸法互換を実現した。

　新開発したボール循環部品により最高速度5m/s、最高加減速度300m/s²を実現しており、生産性向上が求められる半導体製造装置に最適で、特に高い生産性能を要求されるダイボンダーやテストハンドラーといった半導体製造の後工程設備、さらにはチップマウンターなどの主軸案内部の使用に最適化されている。

　特長は以下のとおり。

・高速・高加減速対応：新開発のボール循環部品の採用により、高強度・強靭化を実現。高速・高加減速動作時のロバスト性を向上し、生産性向上に貢献する

・低しゅう動抵抗：コア技術である理想的な4列サーキュラーアーク溝2点接触構造により、低しゅう動化を実現。これによりサーボ制御性向上に貢献する

・取付寸法互換：既存のゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドと取付寸法互換があるため、置き換えが可能