イグス、クリーンルームの狭小スペースに対応するケーブル保護管に3形状を追加、計6種の提供を開始

イグスは、クリーンルーム向けの耐摩耗性に優れたケーブル保護管「e-skin flat single pods（e-skin flat）シリーズ」について、コンパクト設計や開閉式への需要に対応するため、e-skin flatに三つのバージョンを追加し、計6種類での提供を開始した。これまでよりさらに柔軟に、設置スペースや環境に合わせたケーブルガイドシステムが利用できるようになる。

　e-skin flatのラインアップはこれまで、非開閉式2サイズ（内高さ12mmおよび15ｍｍ）、開閉式1サイズ（内高さ12mm）の3種類だったが、精密機器製造装置内での使用を見込み、従来よりも細いサイズを中心に6種類へ拡充させた。従来もっとも細いサイズは内高さ12mmだったが、今回、内高さ10mmの開閉式・非開閉式をラインアップに加えた。また、内高さ15mmのサイズに開閉式を追加した。種類が増えたことにより、設計のコンパクト化や、より多くの装置へのe-skin flat使用が可能となる。

　e-skin flatは、半導体製造装置など摩耗による微粒子の発生を嫌う環境で使用するために開発された、フラット型のケーブルガイドシステムで、イグスではクリーンルーム試験室での製品試験を実施しており、e-skin flatがISO 14644-1に準拠した空気清浄度クラス1（※）環境での使用に適合していることを確認している。優れた耐久性、柔軟性、静音性（騒音レベルはわずか29dB(A)）についても検証試験で証明されている。

※ ISO 14644-1に準拠した空気清浄度クラス1：ISO 14644は空気中の粒子濃度に焦点を置き、空気1立方メートルあたりの最大許容粒子濃度の限界値を規定している。クラス1は最も高い清浄度クラスで、これを達成するには空気1立方メートルあたり0.1μmの粒子数が10を超えないことが求められる

　また、e-skin flatはチャンバー同士の連結・取り外しが容易で、開閉式はケーブルの交換や目視点検が手軽にできる。

　イグスは今後も、耐摩耗性に優れたエンジニアリングプラスチック素材を活用したクリーンルーム向け製品のラインアップを拡充させていく。

　e-skin flatの特長は以下のとおり。

・開閉式（SKF.O）は、数分でケーブルの交換が可能

・非開閉式（SKF.C）は、粒子の放出をより抑えることができる

・3種類のサポートチェーンが提供可能

・最大3mのストロークに対応

・6pod連結、6段構成が可能