ベアリング&モーション技術の総合情報誌「bmt(ベアリング&モーション・テック)」の第15号となる2018年11月号が11月22日に小社より発行された。
今号は「特集:半導体製造装置」「キーテク特集:粉末冶金技術」で構成。特集「半導体製造装置」では、半導体製造プロセスに関する市場・技術動向とベアリング&モーション技術の動向から、常温接合の三次元積層デバイスへの応用、半導体製造プロセスにおける直動案内・応用製品、無潤滑モーション・プラスチック製品の技術まで、最新情報を幅広く紹介する。
また、キーテク特集「粉末冶金技術」では、混合-成形-焼結と工程がシンプルで、使用する原料やエネルギーを抑えた環境にやさしい粉末冶金技術のうち、焼結含油軸受とMIM(金属粉末射出成形法)の最新技術と、各種の特徴を活かした適用について紹介する。
特集:半導体製造装置
◇半導体製造装置の市場・技術動向とベアリング&モーション技術・・・日本半導体製造装置協会 小林 章秀 氏、星野 栄一 氏に聞く
◇常温ウエハ接合技術およびその装置と接合事例・・・三菱重工工作機械 後藤 崇之
◇半導体製造装置における直動案内・応用製品の技術動向・・・THK 瀧澤 弘幸 氏、青木 慎史 氏に聞く
◇半導体製造プロセスにおけるモーション・プラスチックの適用・・・イグス 北川 邦彦 氏に聞く
キーテク特集:粉末冶金技術
◇焼結含油軸受の概要と最近の技術動向・・・ポーライト 藤井 康仁
◇MIM(金属粉末射出成形)製法の特徴と適用事例・・・日本ピストンリング 大塚 昭仁
連載
注目技術:半導体製造プロセスにおける磁性流体シールの適用と新展開・・・フェローテック
Q&A「潤滑管理」の機素知識 第12回 給油・給脂システムの使用方法 ②工作機械・送り・・・リューベ 菊池 睦、佐藤 嘉智
トピックス
日本工作機械工業会、JIMTOF2018を開催、複合加工やIoTに対応するベアリング&モーション技術が集結
日本トライボロジー学会、トライボロジー会議 2018 秋 伊勢を開催
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