ジェイテクト、長寿命、Siフリーの腐食環境用深溝玉軸受を開発

　ジェイテクトは、厳しい腐食環境下で使用する特殊環境用軸受として、世界初となるアルミナジルコニア複合材料を使用した「コロガードプロベアリング^®-AZ」を開発、耐食軸受シリーズとして展開中の「コロガードプロベアリング^®」シリーズに新たにラインナップした。

　同社国分工場および四国工場で2023年をめどに量産を開始する予定で、腐食環境(溶液やガス環境)でのメンテナンス軽減を求めるユーザーに提案を進め、6000万円／年の売上を目指す。

　半導体製造装置の一部には、セラミック軸受が使用されているが、腐食ガス中や溶液がかかる環境で使用されるため、材料の窒化ケイ素が腐食し、摩耗が促進されることで軸受が劣化してしまうという問題があった。

　半導体製造現場では、その需要の増加に伴い、生産性の向上や安定生産を実現するため、メンテナンス回数の削減が大きな課題となっており、溶液や腐食ガス環境下でも腐食しない長寿命軸受の開発が求められていた。

　同社ではこれまでも、薬液中や水中でも腐食せずに使用できる窒化ケイ素を用いたセラミック軸受や、耐食軸受シリーズとして「コロガードプロベアリング^®」を展開しているが、従来のラインナップに加え、今回、窒化ケイ素やジルコニアが使えない強い酸環境においても使用可能な「コロガードプロベアリング^®-AZ」を開発したもの。

　開発品では、軸受の材料として世界で初めてアルミナ-ジルコニア複合材料を使用したことで、窒化ケイ素が使えない厳しい酸性環境下での使用が可能で、その耐久性は炭化ケイ素（SiC）よりも高く長寿命を実現している。

　開発品はSiフリー（Siを含まない）材料の軸受ながら、SiCと同等の高い耐食性と、SiCの1.2倍という耐荷重性を両立するため、軸受交換周期が延長されることで、ユーザーのメンテナンスコストの削減に貢献できる。