メインコンテンツに移動
SEMICON Japan 2024

 

ジェイテクト、環境規制対応の真空・クリーン用ベアリングを開発

 ジェイテクトは、欧州連合(EU)の化学物質規制「REACH」や「POPs条約」など環境規制に対応する特殊環境用軸受「EXSEVシリーズ」として、真空・クリーン用ベアリング「EXSEV🄬-EX」を新たに開発した。

 本年4月から、同社徳島工場、国分工場、亀山工場と、グループ企業のダイベアで量産を開始する。半導体製造装置メーカーやフィルム製造装置メーカーなどへの提案を進め、10億円/年の売上を目指す。

製品イメージ
製品イメージ

 

 REACH規則の制限対象物質リストが修正され、本年7月4日から、パーフルオロオクタン酸(PFOA)およびその関連物質が規制の対象となる。

 同社ではこれまで、低発塵で主に半導体製造過程など真空環境で使用されるフッ素系グリース(KDLグリース)を使用した「DLベアリング」を製造・販売してきたが、このグリースの製造過程でPFOAが発生することが分かっている。

 そこで今回、製造過程で規制対象物質を含有しないグリースを使用し、環境規制に対応した軸受「EXSEV🄬-EX」を開発したもの。

 開発品では、環境規制に対応するだけでなく、従来のDLベアリングと比較して、低発塵、アウトガス、起動トルク、回転トルク、音響、寿命において同等以上の性能を有することが確認されている。

 

発塵量比較(ベアリング)
発塵量の比較(ベアリング)

 

アウトガス比較(グリース)
アウトガス量の比較(グリース)